玻璃晶圆
应用于CMOS、CCD传感器、集成电路或微机械元件封装(MEMS)、通信与数据处理、光学、电
子、家电、军工、科研等高科技产品。
材料:康宁Eagle XG 、BOROFLOAT 33、石英玻璃、B270、D263T
标准厚度:0.1mm、0.145mm、0.2mm、0.3mm、0.5mm、0.7mm、1.0mm、1.1mm、1.5mm
技术指标:
标准尺寸:Φ2"、Φ3"、Φ4"、Φ5"、Φ6"、Φ8"、Φ12"(其他尺寸可定制)
外观:60/40、40/20、20/10 表面粗糙度(Ra)<1.5nm
TTV/平整度≦2μm BOW/翘曲度≦5μm Warp/弯曲度≦5μm 各棱边倒钝:C0.05~0.2mm